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Sellado ultralimpio y libre de contaminación para la fabricación de semiconductores
La fabricación de semiconductores exige soluciones de sellado que cumplan con los estándares de limpieza más estrictos. Las juntas tradicionales suelen introducir partículas, desgasificación o contaminación. Nuestras soluciones de sellos inflables para equipos semiconductores ofrecen un sellado confiable y libre de contaminación para los procesos más exigentes.
Un sello inflable se expande cuando se presuriza, creando una fuerza de sellado uniforme. Cuando se desinfla, se retrae completamente dentro de su ranura, lo que permite que las puertas y los puertos de acceso se abran y cierren sin fricción ni desgaste. A diferencia de las juntas de compresión, genera su propia presión de sellado, compensando las irregularidades de la superficie y la expansión térmica.
Un sello inflable para semiconductores está diseñado para los requisitos únicos de la fabricación de semiconductores. Fabricado con silicona de alta pureza en condiciones de sala blanca ISO Clase 5, garantiza una generación mínima de partículas y una baja desgasificación. Cuando está desinflado, presenta una superficie lisa y limpiable sin grietas para la acumulación de partículas.
Un sistema inflable de sello de túnel de viento proporciona un sellado confiable para las secciones de prueba del túnel de viento, lo que garantiza mediciones precisas sin fugas. Esta validación entre industrias demuestra la confiabilidad y versatilidad de la tecnología de sellos inflables; los mismos principios de presión de sellado uniforme y compensación de espacios se aplican a la fabricación de semiconductores.
Un sello inflable para máquina de granallado proporciona un sellado confiable contra medios abrasivos y polvo. Fabricado con EPDM o silicona duradera, resiste la abrasión y mantiene la flexibilidad bajo vibración constante. Esto demuestra la adaptabilidad de la tecnología de sellos inflables en diversas aplicaciones industriales.
Rendimiento ultralimpio : silicona de alta pureza con baja desgasificación para procesos críticos.
Sellado libre de contaminación : la presión uniforme garantiza una barrera confiable contra partículas y gases.
Vida útil extendida : el inflado según demanda extiende la vida útil del sello entre 3 y 5 veces.
Fácil mantenimiento : la deflación crea un espacio libre inmediato para el acceso a la cámara.
Equipo de procesamiento de obleas
Cámaras de deposición de película delgada
Sistemas de grabado por plasma y CVD
Esclusas de carga al vacío y cámaras de transferencia
Puertas para salas blancas y cámaras de paso.
Las ranuras requieren bordes redondeados (radio mínimo de 1 mm). Utilice aire o nitrógeno regulado desde 0,1 MPa, aumentando gradualmente hasta 0,2–0,4 MPa, sin exceder nunca los 0,6 MPa. Aplique grasa de silicona durante la instalación.
Cada sello se somete a una inspección 100% visual y dimensional en un ambiente de sala limpia. Pruebas de fugas de helio opcionales y trazabilidad completa del material disponibles. Certificaciones FDA y USP Clase VI disponibles.
Póngase en contacto con nuestro equipo con las dimensiones de su equipo, el perfil de ranura y el rango de temperatura. Proporcionaremos una solución personalizada con dibujos, recomendaciones de materiales y una cotización competitiva.
Elija el sello inflable que funciona solo cuando lo necesita, brindando un sellado confiable y libre de contaminación, una vida útil prolongada y un mantenimiento simplificado.
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